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真ub8优游注册传输平台DIAGRAM 600

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简介

Introduction

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参数

Parameter

参数:

Item

Specification

晶圆类型

Wafer types

SEMI standard   silicon wafers

晶圆尺寸Wafer Size

100mm,150mm,   200mm

定位标记

Alignment   Mark

Notch &   Flat

厚度thickness

150mm wafer:   0.675mm±10%;

200mm wafer:   0.75mm±10%

Cassette类型

Cassette   types

configurable   for 150mm, 200mm SEMI Standard cassettes.

传输平台

Transport Plane

900 mm at VCE platform(SEMI-std)
   1100 mm per SEMI std E21-91 at Process Module side(9.5 mm above slot   centerline)

晶圆取放精度

Wafer placement repeatability

0.2mm

真ub8优游注册度Vacuum level

rough pumping: 5 mTorr

漏率Leak rate

0.5 mTorr/minTest after 24 hours pump)