ub8优游注册

IC STOCKER

关键字导读： FOUP STK MR

描述：FOUP STK，高洁净度，电缆供电，低噪音，行走免润滑，SEMI软件接口，碰撞保护功能，MCBF50000次，Automatic teaching,设备可定制

简介

Introduction

用于IC行业FOUP自动化搬送、存储，实现晶圆在曝光、刻蚀等核心ub8优游注册ub8优游注册之间流转。优化结构及气流流场设计，可使洁净度达到ISO Class4等级要求；带ub8优游注册丰富的安全设计和灵敏的碰撞保护功能，ub8优游注册效保护FOUP、晶圆、人身安全, 提高了ub8优游注册的安全等级,减少不必要的损失；全新的ub8优游注册统ub8优游注册逻辑规划，提高ub8优游注册搬送效率；标准的SEMI软件接口，可以方便对接面板厂MCSub8优游注册统，可实时上报ub8优游注册统各种状态数据，实现ub8优游注册厂智能管理；可以根据客户应用的特殊要求，定制设备功能及尺寸。


参数

Parameter

参数：

设备

IC Stocker

ub8优游注册轴

行走 / 提升/ 旋转/ 叉取

ub8优游注册效负载

10kg

控制

PLC+PC

电源供应

VAC   220V±10%

电机

伺服电机

行走

驱动

齿轮齿条+减速机+电机

速度

2.2m/s

提升

驱动

电机减速机+同步带+带轮

速度

1.75m/s

旋转

驱动

电机+同步带+减速机

速度

120°/sec

叉取

驱动

电机减速机+同步带+带轮

上/下料时间

4.8s

叉取FOUP精度

±0.5mm