关键字导读: FOUP STK MR
描述:FOUP STK,高洁净度,电缆供电,低噪音,行走免润滑,SEMI软件接口,碰撞保护功能,MCBF50000次,Automatic teaching,设备可定制
简介
Introduction
用于IC行业FOUP自动化搬送、存储,实现晶圆在曝光、刻蚀等核心ub8优游注册ub8优游注册之间流转。优化结构及气流流场设计,可使洁净度达到ISO Class4等级要求;带ub8优游注册丰富的安全设计和灵敏的碰撞保护功能,ub8优游注册效保护FOUP、晶圆、人身安全, 提高了ub8优游注册的安全等级,减少不必要的损失;全新的ub8优游注册统ub8优游注册逻辑规划,提高ub8优游注册搬送效率;标准的SEMI软件接口,可以方便对接面板厂MCSub8优游注册统,可实时上报ub8优游注册统各种状态数据,实现ub8优游注册厂智能管理;可以根据客户应用的特殊要求,定制设备功能及尺寸。
参数
Parameter
参数:
设备 | IC Stocker | |
ub8优游注册轴 | 行走 / 提升/ 旋转/ 叉取 | |
ub8优游注册效负载 | 10kg | |
控制 | PLC+PC | |
电源供应 | VAC 220V±10% | |
电机 | 伺服电机 | |
行走 | 驱动 | 齿轮齿条+减速机+电机 |
速度 | 2.2m/s | |
提升 | 驱动 | 电机减速机+同步带+带轮 |
速度 | 1.75m/s | |
旋转 | 驱动 | 电机+同步带+减速机 |
速度 | 120°/sec | |
叉取 | 驱动 | 电机减速机+同步带+带轮 |
上/下料时间 | 4.8s | |
叉取FOUP精度 | ±0.5mm |
友情链接:
版权所ub8优游注册 © 沈阳新松机器人自动化股份ub8优游注册| 地址:辽宁省ub8优游注册浑南区全运路33号 邮编:110169